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VT6000共聚焦工件表面微觀形貌檢測顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW微納米白光干涉三維形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000三維光學(xué)輪廓共聚焦材料顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，可對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器NS系列探針式臺階儀薄膜表面粗糙度測試儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

中圖儀器VT6000共聚焦晶圓溝槽輪廓尺寸測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖儀器白光干涉儀國產(chǎn)三維形貌儀SuperViewW是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。