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SuperViewW1輪廓表面測(cè)量?jī)x可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓儀器以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

SuperViewW1三維輪廓測(cè)量?jī)x器以白光干涉技術(shù)為原理，采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過(guò)重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

中圖儀器3d光學(xué)檢測(cè)輪廓儀可測(cè)量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過(guò)主要還是用于檢測(cè)樣品表面的粗糙度、臺(tái)階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺(tái)（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)數(shù)納米，線性精度可達(dá)亞納米級(jí)別。

中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)數(shù)據(jù)處理與分析的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。