激光干涉儀采用了激光干涉原理，將物體的微小變形轉(zhuǎn)化成光學信號，并通過計算機進行數(shù)值化分析，實現(xiàn)高精度測量。主要用于測量物體的形態(tài)、表面形貌、薄膜厚度等。
 

　　它主要由激光器、分束器、反射鏡、光學系統(tǒng)、探測器、數(shù)據(jù)采集及處理系統(tǒng)等組成。在實際應用中，常用于表面形貌及薄膜厚度等微小變形的測量。其原理是將獲得的干涉圖像信號轉(zhuǎn)換成電信號，再進行數(shù)字化后，通過數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進行計算，從而獲得要測量的物體或表面形貌等參數(shù)。
 

　　與傳統(tǒng)的干涉儀相比，激光干涉儀的優(yōu)點在于，其不受各種環(huán)境因素的影響，如光的散射、折射、吸收和偏振等，其測量結(jié)果十分準確，可達到亞微米級甚至更高。此外，在測量非常小的尺寸或物體表面時，還可以實現(xiàn)非接觸式的測量。
 

　　它的應用涉及到多個領域，如半導體、光電子、納米材料、材料加工、機械制造等。在半導體領域，可用于測量晶圓、芯片和器件的厚度、曲率等參數(shù)，從而實現(xiàn)精密的加工控制。在光電子領域，可用于測量光學器件和光學透鏡的表面形態(tài)及微小變形等參數(shù)，從而優(yōu)化光學性能。在材料研究領域，可用于表征各種材料在應力、溫度或化學環(huán)境下的形貌變化，從而確定材料的性能和應用。在機械制造領域，可用于測量金屬、塑料、玻璃等物品的形位尺寸及表面形態(tài)，從而實現(xiàn)精密的加工控制。
 

　　其高精度、高分辨率的測量結(jié)果，為各種精細制造和納米技術提供了重要的支持和保障。隨著技術的不斷創(chuàng)新和發(fā)展，激光干涉儀在未來還將有更廣泛的應用前景。